友威UVAT立式电浆蚀刻设备​

◆产品说明

a: 立式连续式电浆蚀刻设备；

b：电浆除胶渣技术；

​c：电浆除残胶技术。

◆ 产品特色

​a：PCB基板跷曲抑制功能；

b：低温制程，无去膜不洁因素；

​c：RF非等向性蚀刻，克服扩孔问题；

​d：气体分布均匀，良好蚀刻均匀性；

e：基板外围无效区域夹持；

f：图形能力 L/S < 2um，Via <30um。

◆ ​产品应用类别

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