| 用途 |
能量色散型X射线荧光镀层测厚及材料分析仪(EDXRF),用于测量印制线路板上的超薄镀层及复杂镀层结构 |
| 测量方向 |
从上往下 |
| 应用 |
基于多毛细管光学系统的特点,是微观结构上Au 和 Pd 镀层测厚的最佳选择。 |
| X射线源 |
X射线源 |
标准:带铍窗口的钨靶微聚焦射线管Ultra 可选:带铍窗口的钼靶微聚焦射线管 |
| 高压 |
三档:10 kV,30 kV,50 kV |
| 初级滤波器 |
多种可切换:Ni 10 μm;空气;Al 1000 μm;Al 500 μm |
| X射线光学系统 |
多毛细管 |
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| 多毛细管/探测器 |
标准型17 μm |
17 μm halo-free* |
10 μm |
| 测量点(Mo-Kα的半高宽) |
≤ ∅17 μm |
≤ ∅17 μm |
≤ ∅10 μm |
| X射线探测器 |
帕尔帖冷却硅漂移探测器(SDD),搭载最新 DPP+ 数字脉冲处理器 |
| 元素范围 |
从铝 Al (13) 到铀 U (92) – 最多可同时测量 24 种元素 |
测量距离 (测样表面至测量头下边缘) |
固定,约 4 – 5 mm |
固定,约 4 – 5 mm |
固定,约 1.5 – 2 mm |
| 可用样品放置区域最 |
宽 × 深:600 × 600 mm |
| 大移动范围 |
450 × 300 mm |
| X/Y平台最大移动速度 |
60 mm/s |
| X/Y平台移动重复精度 |
单向 ≤ 5 μm |
| 样品最大重量 / 高度 |
5 kg / 10 mm |