​友威UVAT水平式电浆蚀刻设备​

◆产品说明                                                                 

a：水平式电浆蚀刻设备               

b：干式电浆蚀刻                    

-介电材蚀刻                        

-电浆金属蚀刻                       
-细线路蚀刻                         

c：电浆减薄技术                
-Plasma ABF Etching
-Plasma EMC Etching
-Molding Compound Etching

d：电浆除胶渣技术
-Plasma Via Desmear

e：电浆除残胶技术
-Dry Film Descum

f：电浆表面改质技术
-降低水滴角
-润湿Wetting

 ◆ 产品特色

a：高速干式蚀刻制程

b：高蚀刻均匀性

c：模组化设计来达成低成本/低占地

d：先进封装技术 (扇型封装)

e：高阶载板应用技术

f：可搭配半导体级EFEM配置