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蔡司 钨灯丝扫描电镜EVO 10
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蔡司 钨灯丝扫描电镜EVO 10


产品用途:​

产品广泛应用于半导体生产、PCB行业、工业测量、医疗技术、材料类等行业的分析与研究,

为用户提供从微米到纳米一直到亚纳米级别的全套解决方案。


性能优势:​

​1.操作简便–Optibeam模式,快速切换最高分辨率、最大视场6mm或景深;
2.超大束流,景深的分析能力;
3.超大样品室,能处理的样品尺寸可达200-300mm直径和100-210mm高–满足大样品的观察需求 ;
4.全自动5轴优中心马达台–具有大的移动范围和极高的重复精度;
5.X射线几何设计技术–具有业界领先的8.5mm(35°出射角)的分析工作距离;
6.对于非导电样品,采用BeamSleeve电子束衬管技术 可有效 提高图像分辨率和能谱分析精度;
7.关联显微镜–叠加光镜与电镜图像,得到更多信息,分辨率、颜色、 成分;
8.标配高性能的背散射电子探测器 BSD,增强低电压性能及提供更丰富的形貌信息 。


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Specitications规格参数

序号

项目

规格、参数

1

分辨率

3 nm@ 30 kV - SE
4 nm@ 30 kV - BSD

2

加速电压范围

0.2-30kV, 10V步进

3

放大倍率

7 - 1,000,000 x(底片倍率)   

4

束流

0.5pA–5uA

5

X射线几何条件

EDS分析工作距离为8.5mm,出射角度35°

6

操作模式

具有OptiBeam模式,分为分辨率、高景深、大视野,模式之间不需人工调节参数,可自由转换

7

样品室大小

310mm (Ø) x 220mm (h)

8

样品台

5轴优中心样品台

         X =80mm           ​

Y=100mm

                        Z = 35mm
                        T = -10 - 90°
                        R = 360
° (continuous)

9

样品台精度

2um

10

试样最大直径

200mm

11

试样最大高度

100mm

12

样品室CCD相机

标配原厂CCD相机

13

关联显微镜

可实现蔡司光镜与电镜的完美结合,利用光镜方便定位的特点,在电镜下可迅速找到感兴趣部位,以后皆可拓展

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